BAB II PEMBAHASAN 2.1 Pengertian MEMS Micro-electromechanical systems (MEMS) adalah sebuah proses teknologi yang digunakan untuk membuat perangkat terintegrasi yang berukuran kecil atau sistem yang menggabungkan komponen mekanik dan ...
Filetype PDF | Posted on 26 Feb 2023 | 2 years ago
The words contained in this file might help you see if this file matches what you are looking for:
...Bab ii pembahasan pengertian mems micro electromechanical systems adalah sebuah proses teknologi yang digunakan untuk membuat perangkat terintegrasi berukuran kecil atau sistem menggabungkan komponen mekanik dan listrik ini dibuat menggunakan sirkuit terpadu ic dengan beberapa teknik pemrosesan juga memiliki ukuran dari mikrometer sampai milimeter kemampuan merasakan mengontrol berjalan pada skala mikro serta menghasilkan efek makro istilah tersendiri di negara berbeda sendiri biasa standar amerika serikat sedangkan eropa dikenal microsystems technology mst jepang micromachines terlepas penyebutanya pembuatan penyatuan standarisasi sama berbagai pabrikasi komputer berbasis integrated circuit mikromekanik memanipulasi silikon substrat lainnya micromachining selain itu pembutannya menggunkan permukannya high aspect ratio harm menghapus bagian menambahkan lapisan struktural sehingga dapat membentuk mekanis elektromekanis ketika dirancang mengekspolitasi sifat mengambil keuntungan salah sa...